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科磊(KLA)半導(dǎo)體設(shè)備氣動(dòng)隔振系統(tǒng)的頻率

來源:上海松夏減震器有限公司????發(fā)布時(shí)間:2023-05-16 10:11

 
對于科磊(KLA)半導(dǎo)體設(shè)備氣動(dòng)隔振系統(tǒng)和許多儀器和科學(xué)研究實(shí)驗(yàn),特別是一些涉及高精度位置檢測和微力檢測的儀器,地球脈動(dòng)噪聲和環(huán)境噪聲一直是影響其性能和結(jié)果的主要因素,因此氣動(dòng)隔振系統(tǒng)起著重要作用。扭轉(zhuǎn)秤系統(tǒng)通常用于驗(yàn)證等效性原理或測量萬有引力常數(shù),地面振動(dòng)噪聲會(huì)對測量結(jié)果產(chǎn)生很大影響;在評估加速度計(jì)的基本噪聲時(shí),還需要隔離地面的振動(dòng)噪聲;引力波探測器的臂長約為4km邁克耳孫干涉儀組成,對環(huán)境噪聲敏感,需要性能好的隔振系統(tǒng)提供理想的慣性參考點(diǎn);在重力測量中,經(jīng)典的自由落體重力儀和原子干涉重力儀都需要隔振系統(tǒng)。
地面振動(dòng)噪聲的來源和強(qiáng)度與時(shí)間、基礎(chǔ)和周圍環(huán)境密切相關(guān),頻率為0.5Hz上述噪聲來源主要是周圍環(huán)境的噪聲,如建筑物、樹木的晃動(dòng)和人類活動(dòng)。頻率在0.05~0.5Hz噪聲一般稱為地球脈動(dòng)噪聲,主要來源是海浪撞擊海岸時(shí)在地殼中產(chǎn)生的表面波和體波,0.06~0.09Hz噪聲是沖擊產(chǎn)生的基頻,0.12~0.16Hz二次諧波的噪聲幅值往往大于基頻幅值。因此,為了有效隔離地球脈動(dòng)噪聲和周圍環(huán)境振動(dòng)噪聲,氣動(dòng)隔振系統(tǒng)的本征頻率須至少為0.05Hz,一般浮動(dòng)光學(xué)平臺或傳統(tǒng)隔振平臺難以滿足需求。
科磊(KLA)半導(dǎo)體設(shè)備氣動(dòng)隔振系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)超低頻隔振的方法主要有兩種。一是利用低頻加速度計(jì)等傳感器反饋控制超低本征頻率,稱為主動(dòng)隔振;二是超低本征頻率不采用反饋控制,稱為被動(dòng)隔振。兩者都可以等效為彈簧振子系統(tǒng)。由于超低頻水平隔振的彈簧不需要平衡振子的重力,因此水平隔振系統(tǒng)比垂直隔振系統(tǒng)更容易實(shí)現(xiàn)。
科磊(KLA)半導(dǎo)體設(shè)備氣動(dòng)隔振系統(tǒng)的頻率
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